系统通过管壁将研磨液的热能间接传导至冷却水并带走，确保温控的绝对精确，有效提升整体制程的稳定度。系统设计精确控制冷却水的温度与体积流量，结合间接热交换原理与多圈缠绕管路设计，在有限空间内极大化热交换面积，达成卓越的热传效能。