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品质监测|Quality

整合高精度的计量与在线监测元件,精准把关研磨液密度、酸碱值、粒径分布及管路流量等多项关键参数,于制程各环节进行实时监控,确保制程系统的绝对稳定与高效,并降低人为失误风险。

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系统概览

 

监测类别监测项目与说明
研磨液特性监测
  • 密度计 SG:量测不同配方的研磨液密度值,以密度值反推固含量。准确度 0.0001 g/cm³。
  • 酸碱度计 pH:当研磨液不稳定 (如 Zeta Potential),酸碱度会飘移,进而引发粒子结块,并直接冲击研磨速率与混合比例。准确度 0.01。
  • 粒径分布 PSD:量测研磨液内研磨粒子的粒径大小与分布,可提供在线即时监测 (Inline) 与 (Online) 模式,适用于 Oxide、W、Cu、Al CMP Slurry。
  • 导电度计:量测低浓度研磨液,用以原液端量测控制,避免人为疏失。范围 0~2,000K mS/cm。
管路与设备状态监测
  • 流量计:透过监测管路流量状态优化系统性能,包括主管路流量监控 (搭配模块)、使用点 (POU) 端流量监测、耗量监测。
  • 压力量测计:经由压力量测,确认各组件是否正常运作,包括 Pump 泵浦运作状态、Filter 滤芯堵塞状况、主管路压力、使用点 (POU) 压力等。
入料管理与防呆
  • 二维条码入料管理:批次追踪记录原液数据,在原料桶换装时验证二维条码以确保药液正确性,杜绝人为上错料造成系统污染的风险。
  • 入料秤重管理:原料秤重管理机制,用于原料输入及制程用料管理。