商品介绍

SDS 研磨液供应与混料系统专为 CMP 制程设计，针对研磨液的高敏度与复杂特性，我们提供全方位客制化方案：系统包括多重入料管线、预混料管，符合不同供应模式及不同流速需求，确保制程稳定、精准与洁净，极大化产能与设备稼动率，同时降低建置成本与维护需求。

亚泰智慧三桶式研磨液混料供应系统荣获 2022 台湾精品奖，三桶式全自动设计，具搅拌、暂存、供应多功能，即使单桶检修仍可不停线运作；结合品质监测与稳压技术，提升效率、节省空间并确保研磨液稳定品质。

高精度的化学品供应解决方案，通过多项在线研磨液特性监控、安全与自动化管理，确保液态物料维持高纯度状态并输送至制程端，有效提升生产良率并保障生产环境的稳定运行。

专为高度灵活的制程调配设计，双桶式混料平行供应配置确保了物料输送的连续性与产线稳定；结合智慧监测与即时预警机制，能精准满足多元化材料的混合需求，是优化研发端与小型产线配置的可靠首选。

专为保障 CMP 制程中的研磨液品质设计，为已完成混配、等待输送至制程使用点 POU 的研磨液，提供安全、稳定的暂存环境。通过系统性的循环搅动与实时状态监控，能有效防止研磨颗粒在静置期间因沉降或凝聚而导致的分层与不均匀，确保输送至制程端的研磨液始终维持最佳状态，降低缺陷率并提升晶圆良率。

为试制程最佳选用机台，能满足中小批量、小型试验研磨液的特殊供应需求。本设备将输送与高精度监控功能集成于一个紧凑单元中。