品质监测

密度计 SG

• 量测不同配方的研磨液密度值，以密度值反推固含量
• 准确度：0.0001g/cm3

酸碱度计 pH

• 当研磨液不稳定 (如 Zeta Potential)，酸碱度会飘移；进而引发粒子结块，并直接冲击研磨速率与混合比例。
• 准确度：0.01

粒径分布 PSD

• 量测研磨液内研磨粒子粒径大小与分布，可提供在线即时监测 (Inline) 与 (Online) 模式，适用于 Oxide, W, Cu, Al CMP Slurry

导电度计

• 量测低浓度研磨液。用以原液端量测控制，避免人为疏失
• 范围：0~2,000K mS/cm

流量计

• 透过监测管路流量状态优化系统性能，包括：主管路流量监控 (搭配模组)、使用点 (POU) 端流量监测、耗量监测

压力量测计

• 经由压力量测，确认各组件是否正常运作，包括：Pump 泵浦运作状态、Filter 筛检程式堵塞状况、主管路压力、使用点 (POU) 压力等

二维条码入料管理

• 批次追踪记录原液资料，在原料桶换装时，验证二维条码以确保药液正确性，杜绝人为上错料系统污染风险

入料秤重管理

• 原料秤重管理机制，用于原料输入及制程用料管理